분석 장비

표면 분석 & 구조 분석

SEM-EDS (Scanning Electron Microscopy-Energy Dispersive Spectroscopy)

모델명

S-4800 (Hitachi) / EDS: EMAX x-act (HORIBA)

분해능

1.0 nm at 15 kV, 1.4 nm at 1 kV

배율

20 ~ 800,000

최대 샘플 크기

100 mm

움직임

x-110 mm, y-110 mm, z-1.5~ 40 mm

기울임

5 ~ 70 °

XRD (High-Resolution X-ray Diffraction)

모델명

Smartlab (Rigaku)

최대 출력

9kW X-ray generator (X-ray tube: Cu)

정격 전압

20 kV ~ 45 kV

종류

Rotating anode

초점 크기

0.4×8 mm(line focus)

고니오미터 반경

300 mm (Min. step size : 0.0001°)

스캔 모드

Theta-theta vertical type